Nous disposons dans la salle d’un MEB, d’un profilomètre mécanique ainsi que de 2 microscopes optiques
MEB-FEG [1] - Raith Pioneer Two
Notre Microscope Electronique à Balayage équipé d’un canon à effet de champ nous permet d’inspecter nos échantillons rapidement et précisément tout au long des procédés de fabrication.
Spécifications techniques :
Profilomètre mécanique - Dektak 150
Cet équipement est utilisé pour :
> Mesure de marche (profil)
> Mesure de stress
> Mesure de rugosité
> Mappage 3D
Dans le tableau suivant, vous trouverez les résolutions pour la mesure de marches :
| Résolution à 3mg | |
Stylet disponible : 2.5µm et 12.5µm (rayon de courbure de la pointe)
Force utilisable : 0.03mg à 15mg (en fonction des matériaux scannés)
Microscopes optiques - Nikon LV100 et LV150
> Microscopes optiques avec 4 objectifs (x5, x20, x50, x150)
> Illumination sur fond clair/fond noir
Le laboratoire possède également une plateforme microscope électronique détaillée ici.
[1] (Microscope Electronique à Balayage -canon à effet de champ )