Lithographie
La lithographie est un élément essentiel des salles blanches, elle permet de définir les motifs grâce à des résines photo- ou électro- sensibles. Nous disposons de 2 équipements d’insolation : le (...)
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Equipements
Chaque salle blanche issue du consortium de Paris-centre dispose d’un équipement spécifique permettant de répondre à l’ensemble des besoins des laboratoires.
La possibilité de gravures profondes par plasma ICP-RIE est un des atouts de notre salle blanche : cette équipement est spécifique et encore rare en île-de-France.
Dépôts de couches minces
Nous disposons de plusieurs solutions pour déposer des couches minces allant des matériaux isolants au métaux. Les couches pouvant être très fine (quelques nm) jusqu’à plusieurs microns.
Dépôts par (...)
Chimie
La partie chimie de la salle blanche est constituée de 4 sorbonnes et 1 hotte à flux laminaire, équipées de plaques chauffantes, de bac à ultrasons, d’azote gazeux pur pour le séchage des échantillons (...)
Gravure Plasma
Notre zone de gravure physique est constituée de 3 équipements, nous pouvons graver un grand nombre de semiconducteur allant du silicium aux matériaux III-V.
Système ICP-RIE - Sentech SI500 : pour (...)
Caractérisation
Nous disposons dans la salle d’un MEB, d’un profilomètre mécanique ainsi que de 2 microscopes optiques
MEB-FEG [1] - Raith Pioneer Two
Notre Microscope Electronique à Balayage équipé d’un canon à (...)
Montage
Afin de pouvoir utiliser les échantillons, nous devons les monter sur des embases et les connecter électriquement. Pour cela, nous disposons hors de la salle blanche de matériel destiné aux (...)