Equipements
Lithographie optique, lithographie électronique
- Hotte pour l’enduction des wafers, avec 2 tournettes Delta 10 Suss Microtec, 3 plaques chauffantes et une étuve (température max 200°C)
- Hotte à flux laminaire pour le développement
- Aligneur de masque MJB4 simple face Süss Microtec (wafers jusqu’à 4 pouces)
- Raith Pioneer Two – lithographie électronique
Dépôt de couches minces
- Évaporateur à canon à électrons – Plassys MEB 550S : dépôts de Ag, Al, Au, Co, Ge, Pd, Cr, Pt, Ni et Ti
- Bâti PECVD – Corial D250 : dépôts SiO2 et Si3N4
- Or électrolytique
Gravure Plasma
- Système ICP-RIE – Sentech SI500 : gravure des matériaux III-V (GaAs, AlGaAs, InGaAs ou InP)
- Système RIE – Corial 200R : gravure d’isolants
- Plasma O2 et Ar – Diener Electronics Pico
Chimie
- 2 sorbonnes “solvants”
- 2 sorbonnes “acides”
Les sorbonnes sont équipées de plaques chauffantes, de bac à ultrasons, d’azote gazeux pur pour le séchage des échantillons et d’eau désionisée à 18MΏ/cm².
Caractérisation
- MEB-FEG – Raith Pioneer Two,
- Profilomètre mécanique Dektak XT
- Réflectomètre
- 2 microscopes optiques
Autres équipements
- Micro-soudeuse – Kulicke&Soffa 4523 : Or et Aluminium
- Four de recuit rapide – Solaris 75
- Station de transfert pour matériaux 2D – HQ Graphene
À lire aussi

Résonance ferromagnétique sur puce pour les hétérostructures de van der Waals : anisotropie et amortissement du cobalt interfacé avec des matériaux 2D exfoliés
Une collaboration entre le pôle technique, la plateforme de la salle blanche et le groupe TELEM du laboratoire MPQ a permis de développer une nouvelle expérience démontrant que la résonance ferromagnétique large bande standard reste un outil efficace pour sonder la...

Science des matériaux – Quand la surface impacte en profondeur…
Les surfaces cristallines présentent souvent des reconstructions1, supposées n’affecter que quelques couches sous la surface. Une étude collaborative (laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques à Paris, Institut P’ à Poitiers, et ligne de lumière SixS) a analysé...

Exposition – Matériaux et phénomènes illustrés
Exposition ouverte au grand public, en accès libre. Au laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques, sont conçues et fabriquées des puces électroniques et photoniques, utilisées aussi bien en recherche fondamentale que pour des applications industrielles, comme les...

Equilibre émergent dans les machines d’Ising tout-optiques à trajectoires quantiques uniques
Une collaboration entre l’équipe Théorie de MPQ, le CREF de Rome et l’Université La Sapienza a montré que des systèmes optiques multimodes, excités par des processus à deux photons, peuvent atteindre un équilibre thermique au niveau des trajectoires quantiques...